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    CVD系列真空电阻式气相沉积炉

    所属类别 ： 特种炉型

    产品编号 ： T-002 

    产品名称 ： CVD系列真空电阻式气相沉积炉  

    装料方式 ： 立式

    • 产品详情

    ◇产品描述  ：化学气相沉积炉是用采用石墨加热，用石墨软毡、不锈钢框架组合隔热屏隔热的单室立、卧式真空炉。化学气相沉积炉主要用于碳材料的气相致密化处理。

     

    ◇主要技术指标

    型号

    有效区尺寸 (mm)

    装炉量 (kg)

    加热功率 (kw)

    最高温度 (℃)

    温度均匀性 (℃)

    极限真空度 (Pa)

    压升率 (Pa/h)

    气冷压强 (bar)

    CVD251212

    2500x1200x1200

    1500

    650

    1500

    5

    10

    0.05

    /

    CVD401515

    4000x1500x1500

    6000

    650

    1300

    10

    10

    0.05

    /

    CVD181828

    1800x1800x2800

    800

    810

    1500

    10

    30

    0.08

    /

    注：个别指标可以根据客户需求订制。

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